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Myungwoong Kim (Korea District Heating)

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최진우 (Jinwoo Choi) 논문수 · 이용수 711

소속기관: 성균관대학교

소속부서: 정보통신대학

주요 연구분야: 자연과학 > 물리학 공학 > 컴퓨터학 공학 > 화학공학 > 고분자공학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

연구경력: -

저자정보 . 논문
공저자 . 저널

저자의 연구 키워드

저자의 연구 키워드: #대기압 플라즈마; #대기압 DBD 플라즈마; #도핑 프로파일; #랑뮤어 탐침; #랑뮤어 프로브; #반도체 공정; #방출분광법; #실시간 박막 두께 측정; #유도결합 플라즈마; #유도결합플라즈마; #전자기장 시뮬레이션; #전자온도; #정전용량; #진단; #캐패시턴스; #태양 전지,도핑; #플라즈마; #플라즈마 밀도; #플라즈마 진단; #Control O2 gas flow; #DC-magnetron sputtering; #Double Langmuir Probe; #Electron temperature; #Inductively Coupled Plasma; #ITO (Indium Tin Oxide); #ITO(Indium Tin Oxide); #Line ratio method; #MOS(Metal Oxide Semiconductor); #OES(Optical Emission Spectroscopy); #Oxygen negative ion; #Plasma diagnostics; #Plasma Emission; #Process control; #Sputtering

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