Metallization

최성현

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

X-ray Lithography Technology

황기웅

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Enhancement of Alignment Accuracy with a Novel X-ray Mask in Mix-and-Match of Optical and X-ray Lithography

최상수 ,  전영진 ,  Enzo Di Fab 외 6명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

X-Ray Lithography With High Power Laser

Hong Jin Kong

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Sputtering과 Metallization

김민선 ,  윤능구

섬유기술과 산업

2009 .01

Laser Produced Soft X-ray Source For X-ray Lithography

김병태

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

X-Ray Lithography : Recent Progress and Future Developments

Katsumi Suzuki

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

New process for the Magnesium Metallization

And ,  eas Dietz

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Character of Copper Films on Molybdenum Substrate by Addition of Titanium in an Advanced Metallization Process

홍태기 ,  이재갑 ,  한두만

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

X - Ray Lithography Overview and System Design Consideration

유형준

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Metallization Technology in DRAM

T. Taniguchi ,  H. Yagi ,  M. Kanazawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Synchrotron X-ray Lithography

윤창주

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Characteristics of Amorphous Ta-Si-N Thin Film for Cu Metallization

김동준 ,  정순필 ,  김용태 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

ADVANCED LITHOGRAPHY

Tsuneo Te ,  asawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

X-선 리소그라피 기술 ( X-ray Lithography Technology )

최영규 ,  양전욱 ,  이재신 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

X-선 리소그라피 기술 ( X-ray Lithography Technology )

최영규 ,  양전욱 ,  이재신 외 3명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

Metallization of Si ( 111 ) by Magnesium Layer

Yung Doug Suh ,  Ji Yong Pa ,  k 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Small-Angle X-ray Scattering Station 4C2 BL of Pohang Accelerator Laboratory for Advance in Korean Polymer Science

Jin Hwan Yoon ,  Kwang Woo Kim ,  Je Han Kim 외 9명

Macromolecular Research

2008 .10

Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰

조한구

전자공학회지

2001 .08

The Effect of Density and Microstructure on the Performance of TiN Barrier Films in Cu Metallization

Ki Chul Pa ,  k ,  Ki Bum Kim

대한전자공학회 학술대회

1996 .01