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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2007 춘계학술대회 논문집
발행연도
2007.5
수록면
850 - 854 (5page)

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Currently, in order to increase its applicability, a micro-system has been expanded to various areas such as micro fluidics. Among them a micro-pump is required to deliver the fluid without overflow, which can be possible only with consistent surface of the micro-channels.
In general, the applications of the etching process in MEMS are restricted to the silicon-based materials and it is very difficult to obtain the required surface roughness. Micro-machining, however, makes it possible to produce the various surface roughness with controls of spindle, feed rate, and depth of cut, etc.
In this paper, the characteristics of the micro-milling process has been investigated to generate the micro-channels with different materials such as aluminium and copper, etc.
#Micro-milling #Surface Roughness #Cutting Characteristics

목차

Abstract
1. 서론
2. 마이크로 가공 실험
3. 결과
4. 결론
참고문헌

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