지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
MoS₂-Ti films were deposited on SKD-11 tool steel substrate by a D.C. magnetron sputtering system. The influence of deposition parameters on the adhesion of the films was investigated by the scratch test. Cross-section morphology was evaluated using FE-SEM. The plasma etching played an important role on the adhesion of the films. The appropriate etching conditions roughened the surface, resulting in the improved adhesion of the film. The adhesion of the film increased with the interlayer thickness up to 110 nm and then decreased slightly with further increasing of interlayer thickness. The adhesion was highest at a bias voltage of -50 V. Further increase of the bias voltage decreased the film adhesion.
목차
Abstract
INTRODUCTION
EXPERIMENTAL PROCEDURE
RESULT AND DISCUSSION
CONCLUSION
ACKNOWLEDGEMENT
REFERENCES
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Deposition of (Ti,Cr)N-MoS₂ Thin Films by D.C Magnetron Sputtering
한국표면공학회지
2006 .04
-
Bacterial adhesion, cell adhesion, and biocompatibility of Nation films
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2008 .10
-
중간층을 이용한 DLC 박막의 밀착력에 관한 연구
한국표면공학회지
2010 .06
-
Deposition of (Ti,Cr,Zr)N-MoS₂ Thin Films by D.C. Magnetron Sputtering
한국표면공학회지
2006 .12
-
Pulsed Magnetron Sputtering Deposition of DLC Films Part Ⅰ : Low-Voltage Bias-Assisted Deposition
한국표면공학회지
2002 .02
-
ADHESION STUDIES OF MAGNETRON-SPUTTERED COPPER FILMS ON INCONEL SUBSTRATES
한국표면공학회지
1999 .06
-
전동차 점착특성 추정에 관한 연구
한국철도학회 학술발표대회논문집
2006 .11
-
ADHESION OF Pt/Ti BILAYER BEFORE AND AFTER THERMAL TREATMENT
Fabrication and Characterization of Advanced Materials
1995 .01
-
포토리소그래피 공정으로 제작된 터치스크린패널용 금속메시
한국표면공학회지
2016 .12
-
Adhesion property of Cr, Al and Cu thin films deposited on polycarbonate by magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .10
-
THE EFFECT OF AN APPLIED BIAS UPON THE REFLECTANCE AND ADHESION OF SILVER FILMS BEING SPUTTER-DEPOSITED ON POLYESTER SUBSTRATE
한국표면공학회지
1999 .06
-
Recent Advances in Scanning Acoustic Microscopy for Adhesion Evaluation of Thin Films
비파괴검사학회지
2009 .12
-
The effect of plasma treatment on the adhesion between polymer and gold thin film
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2006 .04
-
Adhesion Measurement Methods for Thin Films in Microelectronics
대한용접·접합학회지
2012 .06
-
CFUBM Sputtering법으로 증착시킨 티타늄이 첨가된 비정질 탄소박막의 기계적 특성 연구
전기전자재료학회논문지
2007 .01
-
마그네트론 스퍼터링 장치의 타겟구조 개선에 관한 연구
열처리공학회지
2010 .01
-
Improvement in Adhesion of the Indium Zinc Oxide (IZO) Thin Films on Organic Polymer Films
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2009 .01
-
The Effect of Substrate Bias Voltage on the Adhesion Strength of CrZrN Films Synthesized by an Unbalanced Magnetron Sputtering System
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
-
The Effect of Substrate Bias Voltage on the Adhesion Strength of CrZrN Films Synthesized by an Unbalanced Magnetron Sputtering System
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
-
Modification of Polyimide Film for Adhesion Improvement
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2004 .04
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-581-014774146