기계분야 : ″NANO기술 지향형 마이크로 시스템(MEMS) 및 제작기술 (Micromachining)″

박규열 ,  전종업

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

마이크로 가공기술의 현황과 미래의 마이크로 시스템 ( Progress in Micromachining and Future Micro System )

최준림

대한기계학회지

1993 .06

Silicon Micromachining

M. Esashi

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

혼합 마이크로머시닝기술을 이용한 다층전극구조의 정전렌즈 제작 ( Fabrication of multi-layered electrostatic lens by mixed micromachining technology )

이용재 ,  전국진

전자공학회논문지-D

1998 .09

A New Micromachining Technology Using ( 111 ) Silicon

Sang Woo Lee ,  Sang Jun Pa ,  k 외 1명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

단층 다결정 실리콘 마이크로머시닝 기술로 제작된 정전형 마이크로 미러 어레이의 모델링 및 측정

민영훈 ,  김용권

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

단층 다결정 실리콘 마이크로머시닝 기술로 제작된 정전형 마이크로 미러 어레이의 모델링 및 측정

閔英薰 ,  金容權

전기학회논문지 C

1999 .01

전원특성에 따른 마이크로 전해가공에 관한 연구

박정우 ,  이은상 ,  문영훈

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2001 .05

강연 : 마이크로머신의 설계 및 응용 ( Design and Application of Micromachine )

조영호

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

강연 : 마이크로 머신의 설계 및 응용 ( Design and Applications of Micromachine )

조영호

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

UV 레이저 마이크로머시닝을 이용한 마이크로 채널 제작기술

양성빈 ,  장원석 ,  김재구 외 2명

소성·가공

2004 .04

UV 레이저 마이크로머시닝을 이용한 마이크로 채널 제작기술개발

양성빈 ,  장원석 ,  김재구 외 2명

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2004 .05

마이크로칩 모터 솔루션의 특징 및 최신 동향

유동훈

전력전자학회지

2016 .06

표면미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계의 설계, 제작 및 가공 오차 영향 분석 ( Design, Fabrication and Micromachining Error Evaluation for a Surface-Micromachined Polysilicon Capacitice Accelerometer )

김종팔 ,  한기호 ,  조영호

대한기계학회 논문집 A권

2001 .03

국내 무정전전원장치 기술 동향

임승범 ,  변용섭 ,  이원일

전력전자학회지

2014 .10

마이크로 - 나노 매니퓰레이션 기술의 동향

김경환 ,  김덕호

제어로봇시스템학회지

2003 .03

3차원 마이크로 가공을 위한 새로운 접근법

배창현 ,  최경현

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

2001 .11

표면 미세가공기술을 이용한 마이크로 광학소자 및 구동기의 제작

김건년 ,  박광범 ,  정석원 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

마이크로 부품 제작기술

엄태준

기계저널

2008 .07