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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
한동희 (서울시립대학교) 김일광 (서울시립대학교) 이수일 (서울시립대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제39권 제5호
발행연도
2015.5
수록면
461 - 466 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2015

등가강성요소 모델을 이용한 AFM 마이크로캔틸레버의 진동해석
한동희 ,  김일광 ,  이수일 대한기계학회 논문집 A권 2015.05 학술저널

2013

등가강성요소모델을 이용한 AFM 마이크로캔틸레버 진동해석
한동희 ,  김일광 ,  이수일 대한기계학회 춘추학술대회 2013.12 학술대회자료

초록· 키워드

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원자현미경(AFM)은 마이크로캔틸레버 끝단의 팁이 시료에 다가갈 때 발생하는 팁과 시료 표면 사이의 상호작용을 이용하여 시료의 다양한 특성들을 찾아내는 매우 유용한 도구이다. 본 논문에서는 이러한 AFM 마이크로캔틸레버의 팁과 시료 사이의 상호작용력을 비선형 스프링을 이용하여 동일한 강성을 갖는 요소로 모델링 하였고 유한요소법을 이용하여 시뮬레이션을 수행하였다. 또한 시뮬레이션 결과를 적합직교분해법을 이용하여 분석함으로써 AFM 마이크로캔틸레버의 복잡한 동적 특성을 파악하였으며 이를 같은 방법으로 분석한 실험 결과와 비교하였다. 그 결과 팁과 시료 사이의 상호작용력을 효과적으로 모델링 할 수 있는 방법을 제시하였으며 이러한 상호작용력으로 인해 고차모드의 영향이 증가함을 확인하였다.
#Atomic Force Microscope(원자현미경) #Proper Orthogonal Decomposition(적합직교분해) #Finite Element Method(유한요소법) #Microcantilever(마이크로캔틸레버)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. AFM 마이크로캔틸레버 모델링
3. 결론
참고문헌(References)

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
Lee, S. I. / 2002 / Nonlinear Dynamics of Microcantilever in Tapping Mode Atomic Force Microscopy:a Comparison Between Theory and Experiment / Review B 66:115~409 google schola 홍상혁 / 2010 / 적합직교분해법을 이용한 AFM 마이크로캔틸레버의 진동해석 / 한국소음진동공학회논문집 20(4):414~421 dbpia Kim, I. K. / 2012 / Classification of Empirical Orthogonal Mode in Multi-Modal AFM Microcantilievrs / Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Annual Spring Conference :167~168 google schola Hong, S. H. / 2004 / Nonlinear Dynamics of AFM Tip with Different Contact Models / Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Annual Spring Conference :73~76 google schola Melcher, J. / 2012 / Virtual Environment for Dynamic AFM First Time User’s Manual google schola

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