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PYROMETER 를 이용한 Chemical Vapor Deposition 이상 공정 감지 시스템
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
질량분석 기반 반도체 공정 화학반응 실시간 진단기술 및 사례
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
초박막 공정용 진공펌프 특성평가 및 복합 상태 진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
플라즈마 진단을 위해 개발한 전원장치 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
반도체공정에서 발생하는 오염입자 실시간 측정을 위한 광 산란 방식 고효율 진단 시스템 개발 및 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
[기술동향브리프 ①] 감염병 진단기술
KISTEP InI
2022 .01
공정의 신뢰성 향상을 위한 두께센서 기술 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
인공지능은 공정한 세계를 꿈꾸는가?
KISTEP InI
2022 .07
고주파 프로브 진단기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
임상진단검사에서의 분석과학
한국분석과학회 학술대회
2017 .05
정전용량 변화를 이용한 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
[기획특집] “우린 어디에 있나” 미세먼지를 진단하다
월간환경
2019 .12
Smart Factory Big Data를 활용한 공정 이상 탐지 프로세스 적용 사례 연구
응용통계연구
2021 .02
저체온증 사망진단을 위한 사후 진단마커 연구 및 유효성 확립
한국분석과학회 학술대회
2020 .06
타정 공정에서 불량 발생 조건 분석 및 공정 개선 방안 연구
한국분석과학회 학술대회
2024 .11
플라즈마 분광 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
고조화파 프로브 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
C5F8을 이용한 식각 공정 후 공정가스 회수에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
플라즈마 임피던스 변화를 이용한 대기압 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
식각 공정을 위한 C₄F8/O2/Ar및 C₄F8/O2/Kr플라즈마의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
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