MEMS 형 가속도센서 온도특성에 관한 연구

엄학용; 이기천; 양청광; 송태진; 서종철

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저자정보: 엄학용 (한국기계연구원) 이기천 (한국기계연구원) 양청광 (한국기계연구원) 송태진 (한국기계연구원) 서종철 (모루기술)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 신뢰성부문 2017년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2017.2

수록면: 153 - 153 (1page)

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