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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.11
- 수록면
- 4,095 - 4,099 (5page)
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주사탐침현미경과 같은 나노 측정 시스템은 외란으로부터 보호를 받아야만 한다. 주사탐침현미경의 설계를 위해 외부 진동진동의 특성을 파악해야 하고, 구조프레임 자체의 진동 해석 해야 한다. 또한 장치의 최고 정밀도를 파악하기 위하여, 외부진동의 영향을 분석해야 한다. 본 논문에서는 바닥진동과 구조프레임을 동시에, 진동 분석과 실 험을 통하여 진동 특성을 조사하였다.
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1. [학술지(정기간행물)] - Kindt, J. H / 2004 / Rigid design of fast scanning probe microscopes using finite element analysis / ,Ultramicroscopy, 100 (3) : 259 ~ 265
2. [학술지(정기간행물)] - Bessason,B. / 1999 / Vibration criteria for metrology laboratories / ,Measurement science and technology 10 (11) : 1009 ~ 1014
3. [학술대회논문] - Paul,C.R / 1997 / Structural Design of Semiconductor Manufacturing Facilities / ,Proceedings of Construction congress V:managing engineered construction in expanding global markets, : 186 ~ 192
4. [학술지(정기간행물)] - Park,S. / 1987 / Theories of the feedback and vibration isolation systems for the scanning tunneling microscope / ,Review of Scientific Instruments 58 (11) : 2004 ~ 2009
5. [학술지(정기간행물)] - 이정익 / 2010 / The Mechanical Dither Design of Navigation Guide Structure / 한국산학기술학회논문지 11 (6) : 1949 ~ 1954
2. [학술지(정기간행물)] - Bessason,B. / 1999 / Vibration criteria for metrology laboratories / ,Measurement science and technology 10 (11) : 1009 ~ 1014
3. [학술대회논문] - Paul,C.R / 1997 / Structural Design of Semiconductor Manufacturing Facilities / ,Proceedings of Construction congress V:managing engineered construction in expanding global markets, : 186 ~ 192
4. [학술지(정기간행물)] - Park,S. / 1987 / Theories of the feedback and vibration isolation systems for the scanning tunneling microscope / ,Review of Scientific Instruments 58 (11) : 2004 ~ 2009
5. [학술지(정기간행물)] - 이정익 / 2010 / The Mechanical Dither Design of Navigation Guide Structure / 한국산학기술학회논문지 11 (6) : 1949 ~ 1954
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