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한국산학기술학회 한국산학기술학회 학술대회논문집 한국산학기술학회 2006년도 춘계학술발표대회 논문집
발행연도
2006.5
수록면
223 - 226 (4page)

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The micro-gas sensor based on carbon nanotubes (CNTs) was fabricated and its gas sensing characteristics on nitrogen dioxide (NO₂) have been investigated. The sensor consists of a heater, an insulating layer, a pair of contact electrodes, and CNT-sensing film on a micromachined diaphragm. The heater plays a role in the temperature change to modify sensor operation. Gas sensor responses of CNT-film to NO₂ at room temperature are reported. The sensor exhibits a reversible response with a time constant of a few minutes at thermal treatment temperature of 130℃.
#가스 센서 #Gas sensor #회복 #Carbon nanotube(CNT) #이산화질소 #탄소나노튜브 #Nitrogen dioxide(NO₂) #Recovery

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