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김병연 (철원플라즈마산업기술연구원) 정만기 박세준 (한국과학기술연구원) 구본철 (한국과학기술연구원) 이성호 (한국과학기술연구원) 송석균 (철원플라즈마산업기술연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2017년 한국진공학회 (제52회 동계정기학술대회 초록집)
발행연도
2017.2
수록면
206 - 206 (1page)

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