Study of Microwave Annealing for Fabrication of Silicon-on-Insulator MOSFETs

신중원; 정우채; 조원주

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 신중원 (광운대학교) 정우채 (광운대학교) 조원주 (광운대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2017년 한국진공학회 (제52회 동계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2017.2

수록면: 288 - 288 (1page)

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#SOI MOSFET #thermal budget #microwave irradiation #활성화 열처리 #후속 열처리

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