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학술대회자료
저자정보
조윤상 (고려대학교) 김성범 (고려대학교)
저널정보
대한산업공학회 대한산업공학회 추계학술대회 논문집 2017년 대한산업공학회 추계학술대회 및 정기총회
발행연도
2017.11
수록면
599 - 606 (8page)

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2018

반도체 제조공정 내 불량설비 시퀀스 탐지
조윤상 ,  이상민 ,  김해중 외 1명 대한산업공학회지 2018.10 학술저널

2017

반도체 제조라인 불량공정순서 탐지 및 혐의설비 탐색
조윤상 ,  김성범 대한산업공학회 추계학술대회 논문집 2017.11 학술대회자료

초록· 키워드

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Maintenance of quality level is essential in semiconductor manufacturing that contains a series of complicated processes and equipment. Recently, the problem of low quality caused by the inadequate process sequence has become an important quality management issue. Further, the identification of the combination of the process and equipment causing the problem is a crucial task in manufacturing system. In this paper, we propose the methodology for predicting of the quality level and detecting of faulty equipment sequence based on hidden markov model. We used a forward algorithm to predict the quality level and used a Viterbi algorithm to detect the faulty equipment. To demonstrate the effectiveness of the proposed approach, experiments were conducted using the simulator that mimics the actual manufacturing line. We used manufacturing-oriented simulation software to model an elaborate fabrication environment.
#Semiconductor Manufacturing Process #Quality Prediction #Faulty Equipment Detection #Hidden Markov Model

목차

Abstract
1. 서론
2. 제안 방법론
3. 실험
4. 결론
참고문헌

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