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저자정보
박수빈 (한국생산기술연구원) 유경훈 (한국생산기술연구원) 양지석 (한국생산기술연구원) 송덕용 (성지공조기술) 황정호 (연세대학교)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2018년도 동계학술발표대회 논문집
발행연도
2018.11
수록면
469 - 472 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2018

반도체 클린룸용 듀얼 프리쿨링 냉각탑의 중간기 운전에 관한 기초연구
박수빈 ,  유경훈 ,  양지석 외 2명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2018.11 학술대회자료
공업용 클린룸을 위한 듀얼 프리쿨링 냉각탑의 냉각성능 실험
박수빈 ,  유경훈 ,  양지석 외 2명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2018.06 학술대회자료
첨단 전자 산업용 클린룸을 위한 듀얼 프리쿨링 방식 냉각탑의 냉각성능 실험
박수빈 ,  유경훈 ,  양지석 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2018.04 학술대회자료

초록· 키워드

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In recent years, energy conservation issue has been important in electronics industry due to the regulation of global warming gas emission prevention. However, a large-scale clean room for manufacturing advanced electronic devices such as semiconductors and displays requires precise temperature and humidity control and consumes a lot of energy because it operates continuously throughout the year. In such a clean room facility, free cooling, which directly produces cold water from the cooling tower by using the cold energy of the low temperature outside air, which is natural energy, is very useful without operating the refrigerator for energy conservation in winter and mid-term. However, since free cooling is affected not only by the load but also by the wet bulb temperature of the outside air, it is necessary to control both of them. In addition, since the environment in the clean room needs to satisfy strict conditions such as temperature, humidity, and cleanliness, the ratio of the heat source equipment for maintaining the temperature and humidity is large.
#Industry cleanroom(공업용 클린룸) #Dual free-cooling(듀얼 프리 쿨링) #Cooling heat source(열냉각 열원) #Energy conservation(에너지 보존)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 장치 및 방법
3. 결과 및 검토
References

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