고온에서 Pd 전극의 형태가 수소 센서의 감도에 미치는 영향

김성진

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김성진 (Kyungnam University)

저널정보: 한국전기전자학회 전기전자학회논문지 전기전자학회논문지 제22권 제2호

발행연도: 2018.6

수록면: 356 - 361 (6page)

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고온에서 이용 가능한 수소 센서에 관해 연구하였다. 센서는 Pd/Ta₂O<SUB>5</SUB>/SiC으로 구성된 MOS 구조로 제작되었으며, Ta₂O<SUB>5</SUB> 박막은 급속 열 산화법(RTO)법으로 형성하였다. 본 연구에서는 3가지 다른 패턴의 팔라듐(Pd) 전극으로 만든 센서를 제작하여, Pd 전극의 형태가 응답 특성에 미치는 영향을 고찰하였다. 그 결과, 센서는 Pd 전극의 채워진 면적이 클수록, 정전용량의 응답특성이 개선됨을 확인하였다.

#hydrogen #sensor #SiC #pattern #Pd

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[학술지(정기간행물)] - C. Loa / 2013 / Sensing properties of resistive-type hydrogen sensors with a $Pd-SiO_2$ thin-film mixture / Int. J . Hydrog. Energy 38 : 313 ~ 318

[학술지(정기간행물)] - C. Lu / 2009 / High-temperature resistive hydrogen sensor based on thin nanoporous rutile $TiO_2$ film on anodic aluminum oxide / Sens. Actuator B. 140 : 109 ~ 115

[학술지(정기간행물)] - K. Shimizu / 2008 / Hydrogen sensor based on $WO_3$ subnano-clusters and Pt co-loaded on $ZrO_2$ / Sens. Actuators B. 134 : 2618 ~ 2624

[학술지(정기간행물)] - W. M. Tang / 2010 / Effect of $N_2$-annealing conditions on the sensing properties of $Pt/HfO_2/SiC$ Schottky- diode hydrogen sensor / Thin Solid Films 519 : 505 ~ 511

[학술지(정기간행물)] - 주성재 / 2013 / Pd/Ta2O5/SiC Schottky-diode Hydrogen Sensors Formed by Using Rapid Thermal Oxidation of Ta Thin Films / Journal of the Korean Physical Society 63 (9) : 1794 ~ 1798

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