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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이해준 (부산대학교)
저널정보
한국진공학회 진공이야기 진공이야기 제5권 제4호
발행연도
2018.12
수록면
28 - 32 (5page)
DOI
10.5757/vacmac.5.4.28

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2018

반도체 공정 장비 플라즈마 시뮬레이션 연구 동향과 미래 전망
이해준 진공이야기 2018.12 학술저널
반도체 공정용 플라즈마 시뮬레이션 연구의 동향 및 전망
이해준 한국진공학회 학술발표회초록집 2018.02 학술대회자료

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목차

머리말
플라즈마 시뮬레이션 기법
표면 반응 계산
원자층 식각 및 증착
맺음말
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