나노 스테이지와 볼나사 스테이지에서 커패시티브 센서 실험에 관한 연구

차영엽

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자료유형: 학술저널

저자정보: 차영엽

저널정보: 한국기계기술학회 한국기계기술학회지 한국기계기술학회지 제20권 제1호

발행연도: 2018.1

수록면: 108 - 113 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (11)

2018

나노 스테이지와 볼나사 스테이지에서 커패시티브 센서 실험에 관한 연구

차영엽 한국기계기술학회지 2018.01 학술저널

2015

홀 센서와 포토 센서를 이용하는 선형 스테이지에서 위치결정 비교 실험

차영엽 제어로봇시스템학회 논문지 2015.02 학술저널

2014

포토마이크로 센서의 나노 포지셔닝 스테이지에서 위치결정 실험

차영엽 제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집 2014.12 학술대회자료

볼나사 구동 리니어 스테이지에서 포토 마이크로 센서와 마그네틱 센서의 위지결정 비교실험

차영엽 제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집 2014.12 학술대회자료

나노 포지셔닝 스테이지를 사용한 홀 센서의 위치결정 실험

차영엽 제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집 2014.12 학술대회자료

포토 마이크로 센서를 이용한 볼나사 구동 리니어 스테이지의 위치결정 실험

차영엽 제어로봇시스템학회 논문지 2014.04 학술저널

2013

선형 스테이지에서 포토마이크로 센서의 위치결정 실험

차영엽 제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집 2013.12 학술대회자료

볼나사 구동 리니어 스테이지의 마그네틱 센서 위치결정 실험

차영엽 제어로봇시스템학회 논문지 2013.01 학술저널

2012

리니어 스테이지에서 마그네틱 센서의 성능 실험

차영엽 제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집 2012.12 학술대회자료

선형 스테이지에서 홀 센서의 위치결정 실험

차영엽 제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집 2012.12 학술대회자료

2011

갭센서를 이용한 볼나사 구동 리니어 스테이지의 마그네틱 센서 위치결정 실험

차영엽 제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집 2011.12 학술대회자료

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The capacitive sensors can be divided into two categories depending on their performance and intended use. First, high resolution sensors are commonly used in displacement and position monitoring applications where high precision, high stability, and low temperature drift are required. Often these sensors are used in process monitoring and closed loop feedback control systems. Second, proximity capacitive sensors are much cheaper and generally used for sensing the presence of parts or for counting applications. The following paper describes characteristics of capacitive sensor and application to the PZT nano and ball screw stage.

참고문헌 (11)

참고문헌 신청

A. O. Salazar / 1990 / A magnetic bearing system using capacitive sensors for position measurement / IEEE Trans. on Mag. 26(5)

P. D. Chapman / 1985 / A capacitive based ultrapresion spindle error analyser / J. of Precesion Engineering 7(3)

M. Hirasawa / 1984 / Optimum form of capacitive transducer for displacement measurement / IEEE Trans. Instru. Meas. 33(4):276~280

W. C. Heerens / 1986 / Application of capacitance techniques in sensor design / J. Phys. E: Sci Instrum. 19:897~906

H. J. Ahn / 1996 / A study on a capacitance displacement sensor for the ultraprecision measurement / 1996 Autumn Conference on Korea Society for Precision Eng. :291~295

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