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저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제20권 제9호
발행연도
2007.1
수록면
749 - 755 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2007

마이크로 스프링 구조를 갖는 고밀도 MEMS 프로브 카드의 제작
민철홍 ,  김태선 대한전자공학회 학술대회 2007.07 학술대회자료
마이크로 스프링 구조를 갖는 고밀도 MEMS 프로브 카드의 제작
민철홍 ,  김태선 대한전자공학회 학술대회 2007.07 학술대회자료
마이크로 스프링 구조를 갖는 121 pins/㎟ 고밀도 프로브 카드제작기술
민철홍 ,  김태선 전기전자재료학회논문지 2007.01 학술저널

2005

마이크로 스프링을 이용한 수직형 프로브 카드 제작
민철홍 ,  김태선 대한전자공학회 학술대회 2005.11 학술대회자료

초록· 키워드

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Recently, novel MEMS probe cards can support reliable wafer level chip test with high density probing capacity. However, manufacturing cost and process complexity are crucial weak points for low cost mass production. To overcome these limitations, we have developed micro spring structured MEMS probe card. For fabrication of micro spring module, a wire bonder and electrolytic polished gold wires are used. In this case, stringent tension force control is essential to guarantee the low level contact resistance of micro spring for reliable probing performance. For this, relation between tension force of fabricated probe card and contact resistance is characterized. Compare to conventional probe cards, developed MEMS probe card requires fewer fabrication steps and it can be manufactured with lower cost than other MEMS probe cards. Also, due to the small contact scratch patterns, we expect that it can be applied to bumping types chip test which require higher probing density.
#MEMS probe card #Micro spring #Electrolytic polishing #Electro plating #Chip test

목차

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참고문헌 (13)

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(주)파인컴 / 2003 / “초소형 프로브 구조체, 프로브 카드 및 이의 제조 방법”, 대한민국특허, 2003- 0046169 google schola Formfactor. Inc / 1997 / “Method and apparatus for wirebonding, for severing bond wires, and for forming balls on the ends of bond wires”, US Patent, 5,601,740 google schola Kataoka, K. / 2004 / Contact properties of Ni micro-springs for MEMS probe card / Electrical Contacts Conference : 231 ~ google schola Leslie B. / 1988 / Membrane probe card technology / Test Conference, New Frontiers in Testing : 601 ~ google schola Leung J. / 1995 / Active substrate membrane probe card / Electron Devices Meeting : 709 ~ google schola

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