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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
배일진 (Far East University)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조학회지 Vol.28 No.5
발행연도
2019.10
수록면
306 - 312 (7page)
DOI
10.7735/ksmte.2019.28.5.306

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2020

반도체 제조공정용 유량 제어시스템 성능 향상
배일진 기계공학과 2020.01 학위논문

2019

반도체 제조 공정용 초음파 유량계의 파형 A/D 변환을 이용한 약액 온도 변화 오차 개선
배일진 한국생산제조학회지 2019.10 학술저널

2014

반도체공정 약액 유량 측정용 초음파유량계의 온도 변화에 대한 계측성능 향상 연구
배일진 전기전자반도체공 2014.01 학위논문

초록· 키워드

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In this research, we studied a method of improving measurement errors due to the temperature change of ultrasonic flow-meter chemicals of the time difference method for semiconductor manufacturing processes. The temperature change of these chemicals causes changes in the ultrasonic sound speed and time difference measurement cycle of ultrasonic waves: these changes affect the flow rate value offset and, generate measurement errors. We analyzed the A / D converted waveform of the ultrasonic sound velocity change, identified its waveform, and improved it through automatic compensation. The A / D converted waveform datum gradually increase and decrease in the resonance and free vibration section. By Using the amplitude ratios of these vibrations, we improved the measurement cycle of sound waves to always measure the same period despite changes in sound velocity. Utilizing this improved compensation function we confirmed the improvement of the measuring performance up to 5% compared to the conventional method.
#Chemical #Semiconductor #Transit-type ultrasonic flowmeter #Measurement error #Waveform #A/D conversion

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 초음파 유량계 설계
3. 계측 성능 실험
4. 결론
References

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
KAIST / 1988 / Report for Developing of a Ultrasonic Flow Meter / KAIST Report 13(19):42~54 google schola Central Institute of DaeSung / 1995 / Technical Development for Application of Ultrasonic Flow Meter google schola Nykolai Bilaniuk / 1993 / Speed of sound in pure water as a function of temperature / The Journal of the Acoustical Society of America 93(3):1609~1612 Crossref Vatansever, D. / 2012 / Shah Alternative Resources for Renewable Energy : Piezoelectric and Photovoltaic Smart Structures / Global Warming-Impacts and Future Perspective 263(1):266 google schola Xiaotang Gu / 2019 / The Effect of Internal Pipe Wall Roughness on the Accuracy of Clamp-On Ultrasonic Flowmeters / IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 68(1):65~72 Crossref

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