Fourier Filter를 이용한 비전 기반 반도체 Wafer 결함 검출

권용백 ,  김양중

한국통신학회 학술대회논문집

2020 .11

웨이퍼 품질 분류를 위한 결함 맵 노이즈 제거 알고리즘 개발

이석희 ,  이상원

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .12

Wafer Map defects patterns classification using neural networks

김희영 ,  경기룡

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2017 .04

Die-to-die Inspection of Semiconductor Wafer using Bayesian Twin Network

Eunjeong Choi ,  Jeongtae Kim

IEIE Transactions on Smart Processing & Computing

2021 .10

반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론

유영지 ,  안대웅 ,  박승환 외 1명

대한산업공학회지

2015 .06

반도체 Wafer Fab의 생산성 향상을 위한 통합운영전략

박민정 ,  구평회

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2015 .04

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

반도체 계측 데이터 기반 군집화를 적용한 개선된 품질 예측

강희종 ,  백준걸

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구

김효남

한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집

2015 .01

합성곱 신경망을 이용한 웨이퍼 맵 기반 불량 탐지

박재선 ,  김준홍 ,  김형석 외 2명

대한산업공학회지

2018 .08

고비용 반도체 기판의 재활용 및 광전기화학전지 응용 기술

윤석인 ,  박노창 ,  이용환

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

변분 오토인코더와 세그넷 기반 웨이퍼 불량패턴 탐지

이창현 ,  김성범

대한산업공학회지

2019 .04

전력반도체용 Bulk GaN Wafer 연구개발 동향

이혜용 ,  최영준 ,  오해곤

대한전자공학회 학술대회

2016 .11

12inch Molded Wafer 의 다이 시프트 경향 및 데이터 분석

기대간 ,  이혜진 ,  박성준

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

웨이퍼 수율 향상을 위한 비전 검사 시스템

김영형 ,  박종익 ,  황영광 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2023 .11

다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발

이창용 ,  박송희 ,  박종익 외 2명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .11

대면적 웨이퍼의 다이 시프트 측정기법 개선 연구

기대간 ,  최우석 ,  박성준 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

Wafer TTV 측정장비 평행도 보정용 Standard Wafer 개발

곽동근 ,  이동혁 ,  이재민 외 5명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

웨이퍼 본딩 공정을 위한 3채널 비전 얼라이너 개발

김종원 ,  고진석

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01