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학술저널
저자정보
김종원 (한국기술교육대학교) 고광훈 (한국원자력연구원) 김병기 (한국기술교육대학교)
저널정보
한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 비파괴검사학회지 제39권 제6호
발행연도
2019.12
수록면
329 - 334 (6page)
DOI
10.7779/JKSNT.2019.39.6.329

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2019

파장가변 레이저와 회절 기반 간섭계를 이용한 정밀 변위 측정
김종원 ,  고광훈 ,  김병기 비파괴검사학회지 2019.12 학술저널

2017

가변파장레이저와 간섭계를 이용한 초정밀 변위측정 시스템
김종원 메카트로닉스공학과 2017.01 학위논문

2014

불연속파장 가변레이저와 간섭계를 이용한 정밀 거리측정기
김종원 ,  김병기 ,  고광훈 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014.10 학술대회자료

초록· 키워드

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본 논문에서는 회결격자를 이용한 회절 기반의 간섭계에 네개의 파장을 가지는 파장가변 레이저를 광원으로 하여 반복 운동을 하는 대상의 정밀 변위 측정에 대한 분석과 실험 결과를 발표한다. 광원의 파장이 변함에 따라 생기는 반파장 주기의 간섭 신호의 최대, 최소 피크의 개수를 세어 측정된 반복 운동 변위를 환산한 후 이들 중 가장 큰 값을 취하면 최소의 오차로 실제 이동한 변위를 측정할 수 있다. 이러한 방법을 통해 단파장을 광원으로 사용한 방법이 가지는 오차를 개선한다.
#파장가변 레이저 #회절격자 #레이저 간섭계 #변위 측정 #Tunable Laser #Diffraction Grating #Laser Interferometer #Measurement of Displacement

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 측정 원리
3. 실험 결과
4. 결론
References

참고문헌 (5)

참고문헌 신청
N. A. Hall / 2002 / Integrated optical interferometric detection method for micromachined capacitive acoustic transducers / Appl. Phys. Lett. 80:3859~3861 google schola B. Kim / 2007 / A micromachined scanning grating interferometer for the out-of-plane vibration measurement of MEMS / Journal of Micromechanics and Microengineering 17:1888~1898 google schola D. Shin / 2011 / A laser interferometer encoder with two micromachined gratings generating phase-shifted quadrature / Journal of Micromechanics and Microengineering 21:085036 google schola O. Karhade / 2009 / Active control of grating interferometers for extended-range low-noise operation / Opt. Lett. 34:3044~3046 google schola B. Kim / 2004 / Scanning Microinterferometer for Microstructure Metrology / J. Manuf. Sci. Eng. 126(4):807~812 google schola

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