개인구독
소속 기관이 없으신 경우, 개인 정기구독을 하시면 저렴하게
논문을 무제한 열람 이용할 수 있어요.
지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
The size and prospects of the domestic semiconductor equipment market are increasing every year. In the case of various parts used inside semiconductor equipments, high durability such as high strength and abrasion resistance is demanded. Particularly, the gases used in semiconductor production processes are toxic. In order to prevent such toxic gas leakage, a precision processing technique and a surface treatment technique for preventing corrosion are required. Electro-polishing is an electro-chemical method of polishing a metal surface to make it smooth and polished. Electro-polishing is mainly used in the finishing process of metal surface. Unlike mechanical polishing, electro-polishing is used in many fields, such as fine chemical etching equipment, since no damaged layer or burr, fine polishing groove and particles are generated. However, in order to withstand the gas used in the semiconductor equipment, the parts must have high corrosion resistance. However, the surface hardness generally become lowered through electro-polishing. Therefore, in this study, surface hardness were experimentally observed before and after electro-polishing. Then, a method of improving hardness by preparing a nitrided layer by plasma ion nitriding treatment.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Random copolymers consisting of Zn2+ for self-polishing properties
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2016 .10
-
MR fluid를 이용한 알루미늄 표면의 초정밀 연마 방법
한국금형공학회지
2017 .01
-
Electrolytic polishing of the inner surface of SUS316 for hydrogen by high current method
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .10
-
알루미늄 표면 전처리에 따른 양극 산화 효과에 관한 연구
금형가공 심포지엄
2015 .08
-
전방향 이동 메커니즘을 적용한 콘크리트 폴리싱 로봇의 성능평가
한국생산제조학회지
2016 .04
-
펄스레이저에 의한 NAK80 금형강 표면연마의 해석적 연구
한국기계가공학회지
2015 .12
-
유동해석을 통한 MR fluid jet polishing 시스템의 재료제거 특성 분석
한국금형공학회지
2019 .01
-
MR fluid jet polishing system의 비구면 렌즈 금형 코어 연마를 위한 경로
금형가공 심포지엄
2015 .08
-
Stabilization of the surface of nitinol stent for cerebral aneurysm prevention
대한전자공학회 학술대회
2016 .06
-
Optimization of Polishing Conditions for Anodized Inner Surfaces in Large Hydraulic Devices
한국기계가공학회지
2019 .07
-
MR fluid 폴리싱 공정에서의 요인분석법을 이용한 재료제거율 향상을 위한 공정 인자 도출에 관한 연구
금형가공 심포지엄
2015 .08
-
표면 연마 방법에 따른 니티놀 잔류응력 분석
한국금형공학회지
2017 .01
-
MR fluid polishing의 선속도 제어를 통한 Al alloy 대면적 가공에 대한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .10
-
Chemical polishing of Magnesium alloy
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
-
Synthesis and Characterization of New Self-polishing Copolymers
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2020 .10
-
Machining characteristics of IZO thin films with magnetic flux density variation in magnetic abrasive polishing
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
-
전기화학공정을 이용한 텅스텐 카바이드의 미세연마특성
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .04
-
Effect of Frictional Characteristics on Surface Roughness and Glossiness in Polishing of ABS-Like Resin
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2020 .11
-
폴리싱 고속화를 위한 연마헤드의 회전 안정성과 윤활 상태 평가
한국생산제조학회지
2016 .08
-
전기화학 폴리싱을 이용한 스테인리스 미세 망의 배수 효율 향상 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0