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광학적 표면 형상과 두께 측정을 위한 유연 위상 추출 알고리즘 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
Derivation of a 19-Sample Phase-Shifting Algorithm to Suppress the Spatially Uniform Error When Measuring Optical Thickness Variation of Transparent Plates
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
Derivation of a Phase-shifting Algorithm with Suppression of Refractive-index Dispersion for Measuring Optical Thickness Variation of Optical Flat
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
파장 주사 간섭법을 이용한 투명 평판의 초정밀 표면 형상 측정
대한기계학회 논문집 A권
2023 .04
광학적 두께 측정을 위한 공간적으로 균일한 오차 제거가 가능한 위상 시프팅 알고리즘 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
공간 균일 오차 최소화가 가능한 위상 시프팅 알고리즘을 통한 광학 두께 변동량 측정
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
굴절률 분산을 억제하는 위상 검출 알고리즘을 이용한 투명 평판 두께의 정밀 간섭 측정
대한기계학회 논문집 A권
2022 .05
투명 평판 두께의 간섭 측정을 위한 굴절률 분산을 억제하는 위상 검출 알고리즘
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .12
Development of Phase-shifting Algorithm for Simultaneous Measurement of Surface and Thickness of Transparent Plates with Compensating the Spatially Uniform Phase Error
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
Surface Measurement of Transparent Parallel Plate Using Phase-shifting Interferometry with Suppression of Coupling Error
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
광간섭계를 이용한 대형유리기판의 고속 두께 측정 기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
Design of Phase-Shifting Algorithm for Measuring Optical Thickness Variation with Suppression of Spatially Uniform Error
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
Thickness Measurement of Blank Mask Using Wavelength-tuning Interferometry and Phase-iterative Method
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .05
파장주사 Fizeau 간섭법의 균일 위상 오차를 제거하는 창함수 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .12
Ultra-precision Phase Extraction Method in Single Interferogram for Real-time Interferometry Measurement based on Deep Learning
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
Simultaneous Thickness and Surface Shape Measurements of Blank Mask Using Wavelength-scanning Interferometry and Phase-iterative Algorithm
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
[기술보고] 탄성파 간섭법 탐사 연구 동향 및 기술소개
한국자원공학회지
2022 .04
전단간섭계를 이용한 알루미늄 평판시험편의 결함 측정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
광간섭계 시스템의 파장과 측정 거리 최적화를 통한 정밀 진동 측정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
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