구리 CMP 에서 슬러리 미세분사를 통한 디싱 결함 감소에 관한 연구

이다솔; 이현섭; 조호성; 신소민; 정해도

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저자정보: 이다솔 (부산대학교) 이현섭 (동명대학교) 조호성 (부산대학교) 신소민 (부산대학교) 정해도 (부산대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2019년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2019.10

수록면: 25 - 25 (1page)

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2019

구리 CMP 에서 슬러리 미세분사를 통한 디싱 결함 감소에 관한 연구

이다솔 , 이현섭 , 조호성 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019.10 학술대회자료

2016

스프레이 노즐의 슬러리 분사높이와 분사위치가 구리 CMP 에 미치는 영향

이다솔 , 정해도 , 이현섭 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2016.05 학술대회자료

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#Atomization #Chemical mechanical planarization #Copper pattern #Dishing #Slurry supply system

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이다솔

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이현섭

소속기관 동명대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 1 이용수 54

조호성

소속기관 부산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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신소민

소속기관 한국과학기술원

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정해도

소속기관 부산대학교

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논문수 1 이용수 54

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CMP 에서 스프레이 다중 노즐 시스템을 통한 패드의 균일한 온도 분포의 효과

이기훈 , 이다솔 , 정선호 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019 .05

Planarization Modeling for Device Pattern with Geometric Characteristics of Pad Asperity

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