지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.5
- 수록면
- 17 - 17 (1page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (2)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
화학적기계연마 패드 표면 구조의 기계적 역할에 대한 고찰
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .05
-
연마율 개선을 위한 화학적기계연마 패드 표면돌기의 기계적 특성 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
-
Characterization of CMP Process at Single Contact Point of Pad Micro-Asperity
한국트라이볼로지학회 학술대회
2020 .09
-
화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
-
패드 표면의 마이크로패턴 형상에 따른 화학적기계연마 재료제거율
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
-
Precision Dishing Control in Chemical Mechanical Polishing using Surface Structured Pads for Hybrid Bonding
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
-
수직 정렬된 탄소나노튜브에 의한 긁힘마멸과 표면연마
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
-
화학기계적 연마에서 컨디셔너 직경에 따른 연마패드 마모 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
-
제어된 마이크로 패턴 표면 구조를 가지는 CMP 용 연마패드의 장시간 연마 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
-
CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
-
온도에 따른 연마패드의 동적탄성계수의 변화가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
-
구리 CMP 공정에서 온도가 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
-
수직으로 정렬된 탄소나노튜브를 이용한 고정 연마재 패드 제작 및 기계적 연마 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .05
-
마찰 온도가 연마 패드의 브레이크 인에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
-
CMP 에서 연마 패드의 접촉 조건에 따른 수학적 모델
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
-
3중 존 컨디셔너의 연마패드 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2020 .09
-
화학기계적 연마(CMP)에서 연마 헤드의 오실레이션 속도에 따른 상대속도 변화 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
-
화학기계적 연마에서 컨디셔너의 회전속도비에 따른 연마패드 마모해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .10
-
건식 연마 공정에서 다중센서를 이용한 패드 컨디셔닝 특성 분석에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .05
-
컨디셔닝 공정에서 컨디셔너와 연마 패드의 속도비에 따른 CMP 연마 패드 형상 시뮬레이션
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0