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순민기 (대덕대학교) 김관하 (대덕대학교)
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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2021년도 대한전기학회 전기물성∙응용부문회 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.10
수록면
206 - 207 (2page)

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그래핀과 달리 밴드갭을 가지며 전자 이동도가 뛰어난 MoS₂ 박막은 차세대 트랜지스터의 반도체 층으로, 수소에너지 산업에서 백금을 대체할 수 있는 촉매로, 광소자 등으로 곽광을 받고 있으나, 미세 패터닝을 위하여 플라즈마 식각 연구는 미진한 상황이다. 본 연구에서는 Cl₂/Ar 유도결합 플라즈마를 이용하여 공정 변수에 따른, MoS₂ 박막의 열처리 유 ... 전체 초록 보기

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