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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.12
- 수록면
- 119 - 119 (1page)
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Block copolymers (BCPs) have garnered considerable attention because it effectively realizes periodic patterns with small features (5 - 50 nm). However, for various lithography applications, the conventional one-step annealing method is insufficient to realize fast and tunable pattern formation of BCPs with a high Flory-Huggins parameter ( x ). Here, we introduce a novel and practical annealing method to induce rapid and reversible morphology change of sphere-forming poly(styrene-b-dimethylsiloxane) (PS-b-PDMS) BCPs by using multi-step solvent annealing (MSA) and a combined annealing process of solvent vapo ... 전체 초록 보기
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