웨이퍼 지연을 고려한 반도체 제조용 양 팔 클러스터 장비의 강화학습 기반 스케줄링

홍철희

한국경영과학회 학술대회논문집

2018 .04

챔버 내 웨이퍼 지연을 고려한 다중 슬롯 클러스터 장비의 구조 설계 및 스케줄링

지영준 ,  이태억

한국경영과학회 학술대회논문집

2019 .04

양팔 클러스터 장비의 K-주기 운용 시 웨이퍼 지연 분석 및 제어

노동현 ,  이태억

한국경영과학회 학술대회논문집

2016 .04

자가 지도학습을 이용하여 데이터 불균형을 고려한 웨이퍼 빈 맵 불량 패턴 클러스터링 방법 연구

최이수 ,  김병훈

한국경영과학회 학술대회논문집

2022 .06

Modeling Transient period of cluster tool with the minimum number of wafers

김우진 ,  이태억

한국경영과학회 학술대회논문집

2015 .04

반도체 에칭 공정에서 웨이퍼 내의 공간 위치를 고려한 가상 계측 모형

이한강 ,  김창욱 ,  장재연 외 2명

한국경영과학회 학술대회논문집

2017 .04

다중 슬롯 클러스터 장비의 모델링 및 스케줄링

지영준

한국경영과학회 학술대회논문집

2017 .04

회귀분석을 이용한 반도체 웨이퍼 기울기 조절의 영향 인자 도출 및 개선

길준혁 ,  이나영 ,  신윤경 외 1명

한국경영과학회 학술대회논문집

2023 .05

비용 효율적인 웨이퍼맵 패턴 분류를 위한 합성곱 신경망의 능동적 학습 방법

심재웅 ,  강석호 ,  조성준

한국경영과학회 학술대회논문집

2019 .04

반도체 웨이퍼의 표면 불량을 자동적으로 분류하는 CycleGAN 기반 방법

전세준 ,  김창욱 ,  이석형 외 1명

한국경영과학회 학술대회논문집

2018 .04

다양한 크기의 웨이퍼 맵 불량 감지를 위한 합성곱 신경망 - 전역 평균 풀링 기반 방법

서민경 ,  김창욱

한국경영과학회 학술대회논문집

2019 .04

시뮬레이션 기반의 웨이퍼팹 배치공정 (Batch Processor) 운영전략 분석

구평회 ,  고시근

한국경영과학회 학술대회논문집

2019 .04

클러스터 툴의 비주기적 스케줄링을 위한 강화학습 방법론

김두연 ,  김현정

한국경영과학회 학술대회논문집

2023 .05

반도체 공간적 특성을 고려한 웨이퍼 테스트 데이터의 언더샘플링 방법 개발: 잠재 불량 분류 모델 개발사례 연구

배영목 ,  김광재

한국경영과학회 학술대회논문집

2023 .05

유연생산시스템 최적 스케줄링

안정선 ,  김현정

한국경영과학회 학술대회논문집

2022 .06

합성곱 장단기기억 신경망을 이용한 웨이퍼 평탄화 공정의 재료제거율 예측 및 공정변수 중요도 정량화

김현서 ,  김병훈

한국경영과학회 학술대회논문집

2022 .06

CNN을 활용한 웨이퍼 불량 원인 인자 파악에 관한 연구 : 반도체 전공정 중심으로

성대식 ,  김학수

상업교육연구

2022 .04

비지도 사전학습 기반 액티브 러닝을 활용한 웨이퍼 빈 맵 불량 패턴 분류

황성진 ,  김성범

한국경영과학회 학술대회논문집

2022 .06

Uncertainty 기반 반자동화 라벨링 방법론 제시: 반도체 웨이퍼 데이터를 중심으로

홍용민 ,  손준영 ,  권구민 외 4명

한국경영과학회 학술대회논문집

2023 .05

거대한 흐름

김동호

포브스 코리아

2022 .10