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알루미늄 CMP에서 부식억제제가 디싱 감소에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
Deep learning을 활용한 반도체 CMP 공정의 가상계측 시스템 제안
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2018 .04
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
자동차 반도체 패키징 솔더볼의 부식 거동
한국신뢰성학회 학술대회논문집
2023 .06
반도체 화학기계적 평탄화(CMP)
기계저널
2018 .09
[정밀가공 부문] 10 nm급 반도체 디바이스구현을 위한 CMP기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
3차원 반도체 패키징을 위한 화학기계적연마
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2023 .04
CMP 를 적용한 패키지 기판의 다층배선 공정개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
Advances in CMP Technology over the Next Decade
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
CMP 공정에서 슬러리 분산 안정성 향상을 위한 첨가제 적용 및 최적화 연구
한국에너지기후변화학회 학술대회
2024 .11
착화제가 Cu CMP 에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
LED 반사판용 알루미늄의 CMP에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .05
Table Unit 회전에 의한 CMP System 변형 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
공동주택 스프링클러 금속배관 부식 원인 및 대책 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2024 .11
감속기 및 스테이지 제어 기반의 CMP 장비 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
2024 .10
비선형 유한요소해석법을 이용한 CMP 멤브레인의 해석적 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .11
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