Fabrication of 1D Metal Oxide Nanostructures Using Glancing Angle Deposition for High Performance Gas Sensors

서준민; 장호원

doi:http://dx.doi.org/10.5369/JSST.2017.26.4.228

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저자정보: 서준민 (서울대학교) 장호원 (서울대학교)

저널정보: 한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제26권 제4호

발행연도: 2017.7

수록면: 228 - 234 (7page)

DOI: http://dx.doi.org/10.5369/JSST.2017.26.4.228

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Gas sensors based on metal-oxide-semiconductors are predominantly used in numerous applications including monitoring indoor air quality and detecting harmful substances such as volatile organic compounds. Nanostructures, e.g., nanoparticles, nanotubes, nano- domes, or nanofibers, have been widely utilized to improve the gas sensing properties of metal-oxide-semiconductors by increasing theeffective surface area participating in the surface reaction with target gas molecules. Recently, 1-dimensional (1D) metal oxide nano-structures fabricated using glancing angle deposition (GAD) method with e-beam evaporation have been widely employed to increasethe surface-to-volume ratio significantly with large-area uniformity and reproducibility, leading to promising gas sensing properties. Herein, we provide a brief overview of 1D metal oxide nanostructures fabricated using GAD and their gas sensing properties in terms of fabrication methods, morphologies, and additives. Moreover, the gas sensing mechanisms and perspectives are presented.

#Gas sensors #Metal oxides #Glancing angle deposition #Nanostructures #E-beam evaporation

참고문헌 (37)

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