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저널정보
한국물리학회 물리학과 첨단기술 물리학과 첨단기술 제32권 제7·8호
발행연도
2023.8
수록면
18 - 23 (6page)

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Transmission electron microscopy (TEM) and related analytical techniques play crucial role in advancing nanotechnology by providing atomic scale images with simultaneous structural and chemical information originating from multitude of interactions between high energy electrons and atoms of interest. In this short review, various aspects of TEM are explained, from instrumentation, operating principles, typical application examples to recent developments in resolution improvements and performances.

목차

들어가며
서론
전자와 원자와의 반응
장비구성요소 및 기능
영상관찰/회절분석/분광분석법의 원리와 응용
맺음말

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