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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 전찬욱
- 발행연도
- 2017
- 저작권
- 영남대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수6
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통상적으로 상업적 CIGS 태양광 모듈 제조과정에서의 흡수층은 금속 프리커서 박막을 후면전극인 Mo 박막 위에 증착한 후 셀레늄과 반응시키는 셀렌화 과정을 통하여 얻어진다. 이 과정에서 500 ℃이상에 노출된 CIGS/Mo 계면에서는 반응성이 좋은 Se 과 Mo 가 만나 MoSe2 층을 형성하게 된다. MoSe2 은 1.35~1.41 eV의 금지대폭을 가진 반도체로서 CIGS/Mo 계면에서 쉽게 오믹접합을 형성시켜 소자의 특성에 도움이 되지만, 비저항이 높고, 정공의 흐름을 방해하기 때문에 200 nm보다 얇게 조절하여야 한다.
본 연구에서는, 전도성이 우수하고 셀레늄의 확산 장벽으로서 사용되어질 수 있는 MoN를 이용하여 Mo/MoN/Mo/Glass 구조를 반응성 스퍼터링으로 증착하였다. MoN 가 있는 후면전극과, 없는 후면전극을 셀렌화하여 실질적으로 MoN 가 확산장벽 역할을 수행하는지 SEM 분석을 통하여 확인할 수 있었다. 또한, 두 종류의 후면전극 위에 증착된 프리커서를 같은 조건으로 셀렌화하여 그 거동을 XRD 와 SEM을 이용하여 분석하였으며, 전류-전압 곡선과, 정전용량-전압 곡선, 그리고 외부양자변환효율 곡선을 이용하여 MoN 유무에 따른 소자의 성능을 평가하고자 한다.
본 연구에서는, 전도성이 우수하고 셀레늄의 확산 장벽으로서 사용되어질 수 있는 MoN를 이용하여 Mo/MoN/Mo/Glass 구조를 반응성 스퍼터링으로 증착하였다. MoN 가 있는 후면전극과, 없는 후면전극을 셀렌화하여 실질적으로 MoN 가 확산장벽 역할을 수행하는지 SEM 분석을 통하여 확인할 수 있었다. 또한, 두 종류의 후면전극 위에 증착된 프리커서를 같은 조건으로 셀렌화하여 그 거동을 XRD 와 SEM을 이용하여 분석하였으며, 전류-전압 곡선과, 정전용량-전압 곡선, 그리고 외부양자변환효율 곡선을 이용하여 MoN 유무에 따른 소자의 성능을 평가하고자 한다.
목차
1. 서 론 12. CuInxGa1-xSe2 태양전지 33. 태양전지 구조 73.1 기판 73.2 후면전극 73.3 흡수층 83.4 완충층 113.5 전면전극 124. 소자 특성평가방법 134.1 p-n 접합 134.2 다이오드 이론 174.3 기본적인 태양전지 속성 194.4 재결합 과정 244.5 개방전압의 한계 304.6 양자효율 314.7 정전용량 측정 335. 마이크로 라만 및 XPS를 이용한 CIGS 박막의 두께방향 상분석 비교 365.1 서론 365.2 실험방법 375.3 분석 및 측정 405.3 결론 446. Se 확산방지막으로써의 MoN 다층전극 496.1 서론 496.2 실험 방법 506.3 실험 결과 516.4 결론 65참고문헌 66Abstract 74
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