DRY ETCHING TECHNOLOGY

Takafumi Tokunaga

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Selective wet Etching of GaAs / Al ( Ga ) As Structures

Jong Hee Kim ,  Dae Ho Lim ,  Ki Soo Kim 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Spi Wet etching 공정을 이용한 마이크로 Dot 패턴 Etching 공정 최적화 연구

이해곤 ,  손성기 ,  고민수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

기판의 왕복 운동을 이용한 인라인 식각세정장치 내 ITO 식각특성

홍성재 ,  권상직 ,  조의식

전기전자재료학회논문지

2008 .01

레이저 유도에칭을 이용한 티타늄 미세채널 제조

손승우 ,  이민규 ,  정성호

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2004 .10

선택적 습식식각을 이용한 나노복합구조물 제작 연구

정직한 ,  김정환 ,  조상훈 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

실리콘 Membrane 구조 형성을 위한 Wet Etching에 관한 연구

김동수 ,  정원채

대한전자공학회 학술대회

2001 .06

Study of Self-Limiting Etching Behavior in Wet Isotropic Etching of Silicon

C. H. Han ,  E. S. Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

An Approach to a Small Dot Fabricated with an Etch-back Process

Kwon-Chil Kang ,  Sangwoo Kang ,  Jin Ho Kim 외 6명

ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications

2006 .07

레이저 유도 열화학 습식에칭을 이용한 티타늄 미세구조물 제조

신용산 ,  손승우 ,  정성호

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2004 .04

반송제어모드를 이용한 인라인 식각/세정장치의 ITO 전극형성기술

홍성재 ,  임승혁 ,  한형석 외 2명

제어로봇시스템학회 논문지

2008 .04

Dry Etch 기술 동향 및 전망

김진웅

전자공학회지

2001 .08

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

A Compacted In-line Wet Etch/Cleaning System With a Reverse Moving Control System

Im ,  Seung-Hyeok ,  Cho 외 3명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2008 .01

DRY/WET ETCHING FOR EMITTER IN CRYSTALLINE SILICON SOLAR CELL

Hyun Yub Kim ,  Jae Woo CHOI ,  Kyu Wan SONG 외 2명

AFORE

2011 .11

The Improved Characteristics of AlGaAs Multi quantum Well Laser Diode with Dry Wet Etched Rooftop Reflector

Sung Kwon Hong ,  Song Cheol Hong ,  Young Se Kwon

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Preparation of polyamide-12 powders for selective laser sintering in the high pressure wet process

임병석 ,  김형일

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2007 .10

모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화

유승기 ,  김재경 ,  전의식

한국기계기술학회지

2015 .01

Laser-Induced Maskless wet Etching of Silicon Wafer

Jae Hoon Cheong ,  Se Ki Pa ,  k 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

STUDY ON THE HIGH EFFICIENCY BURIED CONTACT SOLAR CELL WITH WET ETCHING PROCESS

Dae Keun Kang ,  Kang Ho Choi ,  Joo Yul Lee 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10