식각액에 따른 용융실리카의 레이저 습식 식각가공

이종호 ,  이종길 ,  전병희

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2004 .05

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

염화제이철 수용액에 의한 스테인레스 강판의 식각에 관한 연구

이형민 ,  박무룡 ,  박광호 외 1명

화학공학

2012 .01

레이저습식각을 이용한 용융실리카의 미세구멍가공

백병선 ,  이종길 ,  전병희

대한기계학회 춘추학술대회

2003 .04

KrF 엑시머 레이저를 이용한 용융실리카의 미세 습식 식각가공

백병선 ,  이종길 ,  전병희 외 1명

소성·가공

2002 .11

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화

민철홍 ,  김태선 ,  강경우

전기전자재료학회논문지

2012 .01

모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화

유승기 ,  김재경 ,  전의식

한국기계기술학회지

2015 .01

플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

플라즈마 식각 방법에 의한 단결성 실리콘의 Two-Step 식각 특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

레이저 유도 열화학 습식에칭을 이용한 티타늄 미세구조물 제조

신용산 ,  손승우 ,  정성호

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2004 .04

스퍼터링 증착 조건에 따른 금속 박막의 습식 식각율

허창우

한국정보통신학회논문지

2010 .06

이방성 식각용액인 TMAH에 의한 Si 습식 식각

이재복 ,  홍경일 ,  오세훈 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

레이저 유도에칭을 이용한 티타늄 미세채널 제조

손승우 ,  이민규 ,  정성호

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2004 .10

N2H2-H2O용액의 { 100 } Si에 대한 최적식각조건의 설정과 전기화학적 식각에의 응용 ( Establishment of Optimal { 100 } Si Etching Condition for N2H4-H2O Solutions and Application to Electrochemical Etching )

주병권 ,  이윤희 ,  김형곤 외 1명

전자공학회논문지

1989 .11

선택적 습식식각을 이용한 나노복합구조물 제작 연구

정직한 ,  김정환 ,  조상훈 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

SF6, C₄F8, O₂ 가스 변화에 따른 실리콘 식각율과 식각 형태 개선

권순일 ,  양계준 ,  송우창 외 1명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

Cl/HBr/O 고밀도 플라즈마에서 비정질 실리콘 게이트 식각공정 특성

이원규

화학공학

2009 .01