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학술저널
저자정보
신기원 (광운대학교 전자바이오물리학과) 이환희 (광운대학교 전자바이오물리학과) 권희태 (광운대학교 전자바이오물리학과) 김우재 (광운대학교 전자바이오물리학과) 서영철 (영신알에프[주]) 권기청 (광운대학교 전자바이오물리학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제17권 제2호
발행연도
2018.1
수록면
16 - 19 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2018

대기압 플라즈마 밀도 측정
신기원 ,  이환희 ,  권희태 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2018.08 학술대회자료
플라즈마 임피던스 변화를 이용한 대기압 플라즈마 진단
신기원 ,  이환희 ,  권희태 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2018.02 학술대회자료
임피던스 변화를 이용한 선형 대기압 DBD 플라즈마 밀도 측정
신기원 ,  이환희 ,  권희태 외 3명 반도체디스플레이기술학회지 2018.01 학술저널

2017

대기압 플라즈마 진단
신기원 ,  이환희 ,  권희태 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2017.08 학술대회자료

초록· 키워드

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The development speed of semiconductor and display device manufacturing technology is growing faster than the development speed of process equipment. So, there is a growing need for process diagnostic technology that can measure process conditions in real time and directly. In this study, a plasma diagnosis was carried out using impedance variation due to the plasma discharge. Variation of the measurement impedance appears as a voltage change at the reference impedance, and the plasma density is calculated using this. The above experiment was conducted by integrating the plasma diagnosis system and the linear atmospheric pressure DBD plasma source. It was confirmed that plasma density varies depending on various parameters (gas flow rate, $Ar/O_2$ mixture ratio, Input power).
#Atmospheric Pressure Plasma #Plasma Diagnosis #DBD Plasma #Plasma Density

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2016 / Technology Roadmap for SME 2017-2019 / Small and Medium Business Administration google schola Woo suk Kang / Surface treatment using atmospheric pressure plasma / Journal of the KSME 55(6):42~44 google schola Yokoyama, T. / 1990 / The improvement of the atmospheric-pressure glow plasma method and the deposition of organic films / Journal of Physics D: Applied Physics 23(3):374 google schola Machala, Z. / 2007 / Emission spectroscopy of atmospheric pressure plasmas for bio-medical and environmental applications / Journal of Molecular Spectroscopy 243(2):194~201 google schola Förster, S. / 2005 / Investigations of an atmospheric pressure plasma jet by optical emission spectroscopy / Surface and Coatings Technology 200(1-4):827~830 google schola

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