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X. L. Le (서울과학기술대학교) D. T. Vuong (서울과학기술대학교) M. Y. Kim (서울과학기술대학교) S. H. Choa (서울과학기술대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
360 - 360 (1page)

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In semiconductor manufacturing, wafer testing is a mandatory process to ensure yield good electrical connections on the wafer before packaging. The probe card is a specially designed device for testing electrical connection and performance on the wafer. Probe card need 500,000 to one million touchdowns on the wafer. There are many models to estimate the fatigue life of probes through the actual test. However, these methods are costly and ineffective due to the difficulty in setting the measuring system and the variable geometry of the probes. Using numerical analysis, we offer a method of estimate the fa ... 전체 초록 보기
#MEMS #Probe #Reliability #Fatigue life #Numerical analysis

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